半导体专栏作家

微机电系统（MEMS）技术在声学传感器领域产生了巨大的影响，使得智能、低成本和紧凑的音频系统得以快速发展。

机械超材料是具有机械性能的结构材料。多功能性、传感、电动、信息处理以及数据驱动设计的深度整合是机械超材料领域的重大挑战，可能会导致真正智能的机械超材料的出现。

通过表面单晶硅CMOS MEMS工艺制造的压阻式温度传感器具有体积小、高适应性和低响应时间的优势。多层悬臂梁的底层和顶层分别为单晶硅和铝，中间为Si3N4/SiO2复合层。硅层通过离子注入形成压阻元件。

结合“自上而下”和“自下而上”策略的晶圆级微型气体传感器高通量制造方法。通过MEMS技术制造微热板传感器芯片，并通过模板引导的可控去湿法原位生长Ni(OH)2纳米墙，所得传感器在电学性能和气体检测响应方面表现出优异的再现性。这种方法为大规模低成本生产高性能气体传感器提供了一种新的途径。

最常见的大规模生产的半导体器件的制造工艺是CMOS技术。将CMOS电子设备和微机电系统（MEMS）器件集成在单个芯片上（CMOS-MEMS）可以降低制造成本、减小尺寸、减少寄生效应、降低功耗，并且速度更快，这与其他集成方法相比具有优势。

大多数微机电系统（MEMS）设备必须与集成电路（ICs）结合使用，才能在更大的电子系统中运行。微系统与纳米工程杂志回顾了传统的方法以及创新和新兴的MEMS和IC集成方法。

Petersen的论文《硅作为机械材料》是一部开创性的作品，影响了后续的研究和开发，巩固了硅在电子学和现代机械应用中的基本材料地位。