结合“自上而下”和“自下而上”策略的晶圆级微型气体传感器高通量制造方法。通过MEMS技术制造微热板传感器芯片,并通过模板引导的可控去湿法原位生长Ni(OH)2纳米墙,所得传感器在电学性能和气体检测响应方面表现出优异的再现性。这种方法为大规模低成本生产高性能气体传感器提供了一种新的途径。
技术科普
最常见的大规模生产的半导体器件的制造工艺是CMOS技术。将CMOS电子设备和微机电系统(MEMS)器件集成在单个芯片上(CMOS-MEMS)可以降低制造成本、减小尺寸、减少寄生效应、降低功耗,并且速度更快,这与其他集成方法相比具有优势。
MEMS电感器在微纳技术领域广泛应用。1990年后这些相关领域的研究工作爆发式展开。
大多数微机电系统(MEMS)设备必须与集成电路(ICs)结合使用,才能在更大的电子系统中运行。微系统与纳米工程杂志回顾了传统的方法以及创新和新兴的MEMS和IC集成方法。
在托卡马克(Tokamak)聚变反应堆中,保持高压氢等离子体的稳定性是实现有效聚变能量生产的关键。自然杂志《Nature》最新成果提出AI深度学习给可控核聚变带来了新的出路。
纳米机电系统(NEMS)是具有几纳米特征尺寸的系统,呈现出有趣且独特的特性,与其前身微机电系统(MEMS)相比有很大的不同,依然需要科学界深入的探索。
微机电系统(MEMS)是一种集成微型机械和电子器件的技术,其发展历史可以追溯到20世纪60年代以来。
可控核聚变是一种潜在的清洁能源技术,其原理类似于太阳和恒星中发生的核聚变过程。轻元素(通常是氢同位素氘和氚)的核会融合在一起形成更重的元素(通常是氦),释放出巨大能量。
压电效应(Piezoelectric Effect)是一种将机械能转换为电能或电能转换为机械能的物理效应。晶体震动和压电效应的发现对于科学技术和现代通信的发展有着深远的影响。
尼古拉·特斯拉的 美国专利 381,968 Electro Magnetic Moter 首次提出无刷电磁电机。该电机通过电路定期交替电流产生磁场的反复变化,从而驱动电机。