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最常见的大规模生产的半导体器件的制造工艺是CMOS技术。将CMOS电子设备和微机电系统（MEMS）器件集成在单个芯片上（CMOS-MEMS）可以降低制造成本、减小尺寸、减少寄生效应、降低功耗，并且速度更快，这与其他集成方法相比具有优势。

MEMS电感器在微纳技术领域广泛应用。1990年后这些相关领域的研究工作爆发式展开。

大多数微机电系统（MEMS）设备必须与集成电路（ICs）结合使用，才能在更大的电子系统中运行。微系统与纳米工程杂志回顾了传统的方法以及创新和新兴的MEMS和IC集成方法。

微机电系统（MEMS）技术非常多样化，但其设备设计和制造工艺依赖于目标应用。自然电子学(Nature Electronics)杂志刊文推动基于共享设施的开放合作可以加速MEMS的商业化。

在托卡马克（Tokamak）聚变反应堆中，保持高压氢等离子体的稳定性是实现有效聚变能量生产的关键。自然杂志《Nature》最新成果提出AI深度学习给可控核聚变带来了新的出路。

Petersen的论文《硅作为机械材料》是一部开创性的作品，影响了后续的研究和开发，巩固了硅在电子学和现代机械应用中的基本材料地位。

可控核聚变是一种潜在的清洁能源技术，其原理类似于太阳和恒星中发生的核聚变过程。轻元素（通常是氢同位素氘和氚）的核会融合在一起形成更重的元素（通常是氦），释放出巨大能量。

压电效应（Piezoelectric Effect）是一种将机械能转换为电能或电能转换为机械能的物理效应。晶体震动和压电效应的发现对于科学技术和现代通信的发展有着深远的影响。