MEMS电感器在微纳技术领域广泛应用。1990年后这些相关领域的研究工作爆发式展开。
大多数微机电系统(MEMS)设备必须与集成电路(ICs)结合使用,才能在更大的电子系统中运行。微系统与纳米工程杂志回顾了传统的方法以及创新和新兴的MEMS和IC集成方法。
微机电系统(MEMS)技术非常多样化,但其设备设计和制造工艺依赖于目标应用。自然电子学(Nature Electronics)杂志刊文推动基于共享设施的开放合作可以加速MEMS的商业化。
在托卡马克(Tokamak)聚变反应堆中,保持高压氢等离子体的稳定性是实现有效聚变能量生产的关键。自然杂志《Nature》最新成果提出AI深度学习给可控核聚变带来了新的出路。
Kurt Petersen因其在微机电系统(MEMS)领域的卓越贡献,荣获2019年IEEE荣誉奖章。他被誉为“MEMS先生”,是该领域的奠基人之一。
Petersen的论文《硅作为机械材料》是一部开创性的作品,影响了后续的研究和开发,巩固了硅在电子学和现代机械应用中的基本材料地位。
MEMS陀螺仪基于科里奥利力(Coriolis Force)原理,用于测量角速度。它们广泛应用于导航、智能手机、游戏控制器等领域。
纳米机电系统(NEMS)是具有几纳米特征尺寸的系统,呈现出有趣且独特的特性,与其前身微机电系统(MEMS)相比有很大的不同,依然需要科学界深入的探索。
微机电系统(MEMS)是一种集成微型机械和电子器件的技术,其发展历史可以追溯到20世纪60年代以来。
可控核聚变是一种潜在的清洁能源技术,其原理类似于太阳和恒星中发生的核聚变过程。轻元素(通常是氢同位素氘和氚)的核会融合在一起形成更重的元素(通常是氦),释放出巨大能量。
